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Q. 반도체 CD VS Line CD
예전에 공정실습을 진행했는데 내용이 기억이 잘 나지 않아 여쭤봅니다. positive pr로 포토->에치 까지 진행한 뒤 현미경으로 cd를 측정했는데 여기서 그냥 CD는 100마이크로미터 정도이고, Line CD가 15마이크로미터 정도이면, 여기서 그냥 CD는 노광 영향을 받아 깎여나간 패턴의 길이고 Line CD는 깎이지 않고 남은 부분의 선폭이라고 보면 될까요?
2025.01.20
답변 2
- rreinheart우양포토닉스코부장 ∙ 채택률 57%
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- 니니꿈은뭐니삼성전기코사장 ∙ 채택률 86%
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